《半导体的检测与分析》是2007年由科学出版社出版的图书。本书可供从事半导体科研和来自生产的科研人360百科员，大专院校老师和研究生使用。

• 书名 半导体的检测与分析
• 出版社 科学出版社
• 开本 B5
• 装帧 平装
• ISBN 7030194624,9787030194626

内容脸经帝称胜检重商市仅简介

　　《半导体的检测与分析(第2版)》的内容与1984年第一版的内容完全不同。《半导体的检测与分析(第2版)》介绍补充了这二十年来半导体科研、生产中最常用的各种检测、分析方法和原理。全书共来自分7章，包括引论，半360百科导体的高分辨X射线衍射，光学检测与分析，表面、薄膜成分分析，扫描探针显微学在半导体中的运用，透射电子显微学及其在半导体法百目红执谈磁谈季搞中的应用和半导体深中心的表征。书中根据实践列举了一些实例，同时附有大量参考文献和常用的数据，以便读者进一步参考和应用。

目录

　　前言

　　第1章 引论

　　1.1 科学内容

　样温益径哥过将状往　1.2 实验技术

　　1.3 展望

　　参考文献

　　第2防象仅密想段冷放帝农章 半导体晶体的高分辨X射线衍射

　　2.1 引言

　　2.2 半导体晶体结构与结构缺陷

　　2.3 X射线平面波的衍射

　　2.4 高分辨X射线衍射的限束

　　2.5 异质外延多层膜的X射线双晶衍射

　　2.6 三轴促孔垂换济山战灯裂福衍射

　　2.7 晶格参数的精确测量

　　2.8 镶嵌结构的测量

　　2.9 镜面反射与面内掠入射

　　参考文献

　　附录

　　第3章 光学性质检测分析

　　3.1 引言

　　3.2 半导体光致发光

　　3.3 半导体的阴极荧光

　　3.4 吸引光谱及其相关的薄膜光谱测答曲获帝销另科信量方法

　　3.5 拉曼散射

　　参垂口立屋北防许活征茶总考文献

　　第4章 表面和薄膜成分分析

　　4.1 引言

　　4克至句何势.2 俄歇电子能谱

　　4.3 X射线光电子谱

　　4.4 二次离子质谱

　　4.5 卢瑟福背散射

　　参考文献

　　附录

　　第5章 扫描探针显微学在半导体中的运用

　　5.1 引言

　　5.2 扫描隧道显微镜的基本原理

　　5.3 用STM分析表面结构

　　5.4 扫描隧道谱

　　5.5 弹道电子发射显微镜

　　5.6 原子力显微镜

起石战唱便初虽　　5.7 原子力显微镜用于喜评点读转表面分析

　　5.8 扫描电容显微镜

　　5.9 静电力显微镜

　　5钟.10 磁力显微镜

　重单神阶弦杆　5.11 扫描近场光学显微镜

　　5.12 原子操纵与纳米加工

　　参考文献

　　第6章 透射电子显微学及其在半导体研究

　　6.1 引言

　兴序极第　6.2 透射电子显微镜军伤随他道章升级的基本构造及工作原理

促时绍镇调降　　6.3 显微像衬度

　　6.4 其他技术

　　6.5 应用实例

　　6.6 结语

　　参考文献

　　附录

　　第7章 半导体深中心的表征

　　7.1 深能级瞬态谱技术

　　参考文方却尽须几献

　　7.2 热激电流

　　参考文献